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第264章 等一个大惊喜（第4页）

“有了这份方案，我们是不是很快就能制造出稳定的光源。”

“我已经迫不及待想参与实验了。”

而这时没等徐昀开口回答，坐在旁边的罗长辉主动出声讲道：“现在可还不是我们值得庆祝的时候，起码要得到详细的氟化氙测试结果才行，接下来大家先暂时停止手上的事情，全力制造氟化氙光源装置。”能看出他整个人的激情已经被调动出来。

罗长辉所说的事情正是徐昀接下来的安排，因此便顺着补充了句。

“那么今天的会议就到这里，接下来的时间我想大家应该要有的忙了。”

说完会议也正式结束。

今天把项目成员都喊过来参加会议，主要是商议氟化氙光源制造方案的事，眼下方案已经集体通过，那自然没必要继续浪费时间。

何况相信大家经过刚才的事情后，都已经迫不及待想动手了。

毕竟自己能参与到国产首台极紫外光刻机诞生可是件充满荣耀的事。

当然实际情况也正是如此。

会议结束后在徐昀的带领下，大家都被安排任务。

立刻着手氟化氙光源的制造。

——

和从零开始制造氟化氙不同，前者需要不断试错承担功率较小或者无法长时间保持稳定输出的结果，这个过程除了需要大量投入外，还非常浪费时间并且最终得不到任何结果都正常。

但徐昀他们完全不同。

有那份设计方案作为依靠，这就相当于开卷考试。

他们进行的过程就是把答案抄在试卷上，基本不需要费太多精力。

加上还有徐昀亲自参与，几乎是在六月底的时候研究所成功制造出一个氟化氙光源装置。

并且为确定是否能用于高端光刻机，当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。

“虽然我觉得这次我们肯定能成功，但不知怎么心里还是有些紧张。”

2020年6月22日，锦城，光电技术研究所极紫外光刻机项目。

光源测试实验室外面，穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安，尽管表面上故作镇定，但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。

这段时间在参与了光源的制造后，他更加坚信徐昀方案的可行性。

认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。

可眼看最终的光源测试结果就要出来，心里多少还是有些忐忑。

相比坐不住的杨靖，罗长辉明显镇定许多，坐在旁边椅子上还不忘打开杯子喝茶。

“把心态放平和，既然选择了相信徐教授，那就耐心等待结果。”

“我这不是害怕嘛。”杨靖听到罗长辉这话有些不好意思。

　　好歹他也是半截身子入土的研究员教授，遇到事情表现的还不如那些博士后，确实多少有些不太妥当。